Helstu þættir rafeindasmásjár eru:
Rafeindagjafi – Þetta er þar sem rafeindir myndast varma við spennuna 1-40kV. Rafeindirnar þéttast í búnta sem eru notaðir til að búa til hermamyndir og greiningar. Hægt er að nota þrjár gerðir rafeindagjafa. e wolframvír, lanthanum hexaboride og field emission gun (FEG)
Linsur - Það hefur nokkrar þéttilinsur sem einbeita rafeindageislanum frá upptökum í gegnum súluna í þröngan geisla og mynda blett sem kallast blettastærð.
Skannaspóla - notað til að sveigja geislann á sýnisyfirborðið.
Skynjari - samanstendur af nokkrum skynjarum sem geta greint á milli aukarafeinda, bakdreifðra rafeinda og dreifðra bakdreifra rafeinda. Virkni skynjara fer mjög eftir spennuhraða, sýnisþéttleika.
Skjár tæki (gagnaúttakstæki)
aflgjafa
Tómarúmskerfi
Eins og rafeindasmásjá fyrir rafeindasendingu, ætti rafeindasmásjá að vera laus við titring og hvers kyns rafsegulhluta.
