A skanna rafeinda smásjá(SEM) er tegund rafeindasmásjár sem notuð er til að skanna yfirborð örvera, sem notar lágorku rafeindageisla til að einbeita sér og skanna sýnið.
Þróun rafeindasmásjár var rakin til óhagkvæmni ljóssmásjárbylgjulengda. Í samanburði við ljóssmásjár hafa rafeindasmásjár stuttar lóðréttar bylgjulengdir og ná því betri upplausn.
Meginreglur skanna rafeindasmásjár
Ólíkt sendingarrafeindasmásjá, sem notar sendar rafeindir, notar skönnun rafeindasmásjár rafeindir sem sendar eru út.
Skanna rafeindasmásjá virkar með því að beita hreyfiorku til að framleiða merki um rafeindavíxlverkun. Þessar rafeindir eru aukarafeindir, afturdreifðar rafeindir og dreifðar afturdreifðar rafeindir, sem eru notaðar til að fylgjast með kristalluðum frumefnum og ljóseindum. Auka rafeindir og bakdreifðar rafeindir eru notaðar til að framleiða myndina. Auka rafeindirnar sem eru sendar frá sýninu gegna stóru hlutverki við að greina formgerð og landslag sýnisins, en afturdreifðu rafeindirnar sýna andstæður í frumefnasamsetningu sýnisins.
